透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM)，是一種以電子束為光源的基于電子顯微學的微觀物理結構分析技術，分辨率最高可以達到0.1nm左右。TEM技術的出現(xiàn)，大大提高了人類肉眼觀察顯微結構的極限，是半導體領域不可少的顯微觀察設備，也是半導體領域工藝研發(fā)、量產工藝監(jiān)控、工藝異常分析等不能缺少的設備。

     TEM在半導體領域具有非常廣泛的用途，如晶圓制造工藝分析、芯片失效分析、芯片逆向分析、鍍膜及刻蝕等半導體工藝分析等等，客戶群體遍布晶圓廠、封裝廠、芯片設計公司、半導體設備研發(fā)、材料研發(fā)、高?？蒲性核取?/span>

廣電計量的TEM技術團隊由陳振博士牽頭，團隊技術骨干的相關行業(yè)經驗均在5年以上，不僅具有豐富的TEM結果解析經驗，還具有豐富的FIB制樣經驗，具備7nm及以上先進制程晶圓的分析能力及各種半導體器件關鍵結構的解析能力，目前服務的客戶遍布國內的晶圓廠、封裝廠、芯片設計公司、高?？蒲性核?，并受到客戶廣泛的認可。